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AZ P4K-AP Beschichtung - 3.785L
10P4KAP
Bottle size:
3.785 l
AZ® P4K-AP Coating
Schutzbeschichtung
Allgemeine Informationen
AZ® P4K-AP ist eine kosteneffiziente Beschichtung zum Schutz von Geräteoberflächen bei Verfahren wie Back-Lap oder Backside Etch. Sie basiert auf Novolak-Harz und ist gegen die meisten Ätzmittel beständig. Die Dicke dieser Beschichtung beträgt 6,8 µm bei einer Schleuderdrehzahl von 4000 U/min.
Bitte beachte, dass die Schutzbeschichtung AZ® P4K-AP in KOH-Ätzmitteln, die typischerweise zum Ätzen von Silizium verwendet werden, nicht stabil ist.
Produkt-Eigenschaften
AZ® P4K-AP ist eine Mischung aus Harz- und Lösungsmittelkomponenten, die typisch für fertig formulierte Photoresists sind. Das AZ® P4K-AP Protective Coating schließt die photoaktive Komponente eines vollständig formulierten Fotolack aus, wodurch Material- und Qualitätssicherungskosten für Anwendungen entfallen, bei denen eine photolithographische Leistung nicht erforderlich ist.
AZ® P4K-AP verwendet die gleichen Grundmaterialien wie der Industriestandard AZ® P4620 Fotolack. Es bietet:
Hervorragende Haftung auf einer Vielzahl von Substraten
Kompatibel mit vielen Nasschemikalien, sowohl zum Ätzen als auch zum Beschichten
Gute Beschichtungseigenschaften
Standard Fotolack Beschichtungsprozesse werden verwendet
Das AZ® P4K-AP kann verwendet werden für:
Trockenen Ätzprozessen
Nass-Ätzverfahren
Galvanischen Prozessen
Das AZ® P4K-AP wird in den üblichen Nass- oder Trockenätzverfahren Fotolack entfernt/abgeschält.
Developer
AZ® P4K-AP ist kein Fotolack, daher ist kein Developer erforderlich.
Entferner
AZ® P4K-AP kann mit allen gängigen Fotolack Abbeizmitteln entfernt werden, wie z. B.: Aceton, alkalische Lösungen, AZ® 100 Remover, DMSO, AZ® 920 Remover und TechniStrip P1316.
Ausdünnen/Randwulstentfernung
Wir empfehlen zum Verdünnen und Entfernen von Randwülsten PGMEA und AZ® EBR Solvent.
Weitere Informationen
MSDS:
Sicherheitsdatenblatt AZ® P4K-AP Fotolack englisch
Sicherheitsdatenblatt AZ® P4K-AP Fotolack deutsch
TDS:
Technisches Datenblatt AZ® P4K-AP Fotolack englisch
Anwendungshinweise:
Weitere Informationen über Fotolack Verarbeitung