WAFER
Silizium-, Quarz-, Quarzglas- und Borosilikatglas Wafer
Der Begriff Fotolithografie kennzeichnet die Strukturierung metallischer, keramischer, organischer oder aus Halbleitern bestehender Materialien. In der Mikroelektronik, -mechanik oder -optik kommen hierfür üblicherweise mit Wafer bezeichnete, flächige Substrate aus Silizium, Quarz oder Gläsern zum Einsatz.
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