Buch "Fotolithografie - Grundlagen der Mikrostrukturierung
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Produktinformationen "Buch "Fotolithografie - Grundlagen der Mikrostrukturierung"
Photolithographie - Grundlagen der Mikrostrukturierung
Buch Deutsche Version
Mit diesem Buch möchten wir dir umfassendes, anwendungsorientiertes Know-how über Wafer, Fotochemikalien und die damit durchgeführten Strukturierungsschritte vermitteln. Theoretische Grundlagen werden nur insoweit behandelt, wie sie für das Verständnis der Zusammenhänge zwischen den Prozessparametern hilfreich sind. So bleibt der Schwerpunkt auf der Beschreibung und Erläuterung von Praxisbeispielen.
Wir können dir leider nicht (immer) fertige Rezepte mit Erfolgsgarantie mit auf den Weg in den Reinraum geben. Vielmehr ist es unser Hauptziel, dir in den folgenden Kapiteln das nötige Verständnis für die Planung, Durchführung und Optimierung deiner lithografischen Prozesse in allen Teilschritten mit einem Minimum an Zeit zu vermitteln.
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Unser Buch ist nur als gedruckte Version erhältlich. Du kannst einige Kapitel als Anwendungshinweise herunterladen.
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