AZ 726 MIF Developer - 5.00 l

Merck Performance Materials GmbH

AZ® 726 MIF Developer is a developer formulation with 2.38 % TMAH (tetramethylammoniumhydroxide) in H2O.

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Produktnummer: 1000726

Hersteller: Merck Performance Materials GmbH

Produktinformationen "AZ 726 MIF Developer - 5.00 l"

AZ^® 726 MIF Developer

Metallionenfreier Developer

Allgemeine Informationen

AZ^® 726 MIF ist ein TMAH-basierter Entwickler für die Tauch- oder Puddle-Entwicklung, kompatibel mit allen AZ^® Fotolacken aus unserem Portfolio.

Produkteigenschaften

Der ready-to-use AZ^® 726 MIF Developer ist eine wässrige 2,38 %ige TMAH-Lösung mit einem Tensid für eine gleichmäßige Substratbenetzung für die Puddle-Entwicklung, ist aber ebenso für die Tauchentwicklung geeignet. Für die Sprühentwicklung wäre zur Vermeidung von Schaumbildung der tensidfreie AZ^® 326 MIF die bessere Wahl. TMAH-basierte Entwickler kommen immer dann zum Einsatz, wenn metallionenfrei entwickelt werden muss. Zudem empfehlen sich für unsere chemisch verstärkten Positivlacke sowie unsere Negativlacke vorrangig TMAH-basierte Entwickler. Für normale, DNQ-basierte Positivlacke ohne die Anforderung metallionenfreier Entwicklung kann aus Kostengründen statt einem TMAH-basierten Entwickler ein KOH-oder NaOH-basierter Entwickler wie der AZ^® 400K oder AZ^® 351B in Erwägung gezogen werden. Bei quervernetzenden Negativlacken kann sich der AZ^® 2026 MIF als vorteilhaft erweisen, welcher durch bestimmte Additive bei diesen Lacken ein rückstandsfreies Entwickeln fördert. Bei sehr dünnen Lackschichten (< 1µm) bzw. sehr hohen Auflösungsanforderungen kann es sinnvoll sein, den AZ^® 726 MIF Developer mit Wasser zu verdünnen (AZ^® 726 MIF : Wasser = 2:1 bis maximal 1:1). Der AZ^® 726 MIF Developer greift Aluminium mit einer Ätzrate von ca. 70 nm/min an. Falls dies nicht toleriert werden kann, ist der Al-kompatible AZ^® Developer eine Alternative, welcher jedoch auf Natrium-Verbindungen basiert und deshalb nicht metallionenfrei ist.

Weitere Informationen

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MSDS:
Sicherheitsdatenblatt AZ^® 726 MIF Developer englisch
Sicherheitsdatenblatt AZ^® 726 MIF Entwickler deutsch

TDS:
Technisches Datenblatt AZ^® 726 MIF Developer englisch

Anwendungshinweis:
Entwicklung von Fotolack englisch
Entwicklung von Fotolack deutsch

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