AZ 351 B Developer - 5.00 l

Merck Performance Materials GmbH

AZ® 351B Developer is a buffered, NaOH based developer concentrate for many positive and image reversal resists.

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Produktnummer: 1000351

Hersteller: Merck Performance Materials GmbH

Produktinformationen "AZ 351 B Developer - 5.00 l"

AZ^® 351B Developer

Inorganic Developers

Allgemeine Informationen

Der AZ^® 351B Developer ist ein mit Borsäure gepufferter, NaOH-basierter Entwickler für nicht-chemisch verstärkte Positivlacke.

Produkteigenschaften

Der AZ^® 351B Developer eignet sich als NaOH-basierter Entwickler vor allem für die Entwicklung nicht-chemisch verstärkter Positivlacke mit Schichtdicken von wenigen µm. AZ^® 351B kommt als Konzentrat und wird üblicherweise 1 : 4 mit Wasser verdünnt. Zur Erhöhung der Selektivität kann auch eine 1 : 5 - 1 : 6 Verdünnung gewählt werden, was jedoch die Entwicklungsrate deutlich verringert und daher bei dickeren Lackschichten keine sinnvolle Option ist. Bei geringen Anforderungen an die Kantensteilheit kann unter der Notwendigkeit höherer Entwicklungsraten der AZ^® 351B auch schärfer (1 : 3.5 - 1 : 3) angesetzt werden, was jedoch zu einem überproportionalen Anstieg des Dunkelabtrag führt. Für Negativlacke oder chemisch verstärkte Positivlacke ist der AZ^® 351B weniger geeignet, hier empfehlen sich TMAH-basierte Entwickler wie der AZ^® 326 MIF, AZ^® 726 MIF oder AZ^® 2026 MIF. Der AZ^® 351B greift Aluminium mit einer Ätzrate von - je nach Konzentration des Entwickleransatzes - mehreren 10 nm/min bis über 100 nm/min an. Falls dies nicht toleriert werden kann, kann der Al-kompatible AZ^® Developer eine Alternative darstellen.

Weitere Informationen

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MSDS:
Sicherheitsdatenblatt AZ^® 351B Developer englisch
Sicherheitsdatenblatt AZ^® 351B Entwickler deutsch

TDS:
Technisches Datenblatt AZ^® 351B Developer englisch

Application Notes:
Entwicklung von Fotolack englisch
Entwicklung von Fotolack deutsch

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