AZ 326 MIF Developer - 5.00 l

Merck Performance Materials GmbH

AZ® 326 MIF Developer is a developer formulation with 2.38 % TMAH (tetramethylammoniumhydroxide) in H2O.

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Produktnummer: 1000326

Hersteller: Merck Performance Materials GmbH

Produktinformationen "AZ 326 MIF Developer - 5.00 l"

AZ^® 326 MIF Developer

Metallionenfreier Developer

Allgemeine Informationen

AZ^® 326 MIF ist ein TMAH-basierter Entwickler für die Tauch- oder Sprüh-Entwicklung, kompatibel mit allen AZ^® Fotolacken aus unserem Portfolio.

Produkteigenschaften

Der ready-to-use AZ^® 326 MIF Entwickler ist eine wässrige 2,38 %ige TMAH-Lösung ohne weitere Additive. Damit eignet er sich für die Tauch- oder Sprühentwicklung, weniger für die Puddle-Entwicklung, für die der AZ^® 726 MIF durch sein spezielles Tensid zur Substratbenetzung die bessere Wahl ist. TMAH-basierte Entwickler kommen immer dann zum Einsatz, wenn metallionenfrei entwickelt werden muss. Zudem empfehlen sich für unsere chemisch verstärkten Positivlacke sowie unsere Negativlacke vorrangig TMAH-basierte Entwickler. Bei sehr dünnen Lackschichten ( < 1 µm) bzw. sehr hohen Auflösungsanforderungen kann es sinnvoll sein, den AZ^® 326 MIF mit Wasser zu verdünnen (AZ^® 326 MIF : Wasser = 2 : 1 bis maximal 1 : 1). Der AZ^® 326 MIF greift Aluminium mit einer Ätzrate von ca. 70 nm/min an. Falls dies nicht toleriert werden kann, ist der Al-kompatible AZ^® Developer eine Alternative, welcher jedoch auf Natrium-Verbindungen basiert und deshalb nicht metallionenfrei ist. Für normale, DNQ-basierte Positivlacke ohne die Anforderung metallionenfreier Entwicklung kann aus Kostengründen statt einem TMAH-basierten Entwickler ein KOH-oder NaOH-basierter Entwickler wie der AZ^® 400K oder AZ^® 351B in Erwägung gezogen werden. Bei quervernetzenden Negativlacken kann sich der AZ^® 2026 MIF als vorteilhaft erweisen, welcher durch bestimmte Additive bei diesen Lacken ein rückstandsfreies Entwickeln fördert.

Weitere Informationen

Unsere Sicherheitsdatenblätter und manche unserer Technischen Datenblätter sind passwortgeschützt.
Die Zugangsdaten erhalten Sie nach dem Ausfüllen des Formulars.
Bei den Zugangsdaten für die Datenblätter handelt es sich nicht um Ihre Login-Daten von unserem Shop!

MSDS:
Sicherheitsdatenblatt AZ^® 326 MIF Developer englisch
Sicherheitsdatenblatt AZ^® 326 MIF Entwickler deutsch

TDS:
Technisches Datenblatt AZ^® 326 MIF Developer englisch

Anwendungshinweis:
Entwicklung von Fotolack englisch
Entwicklung von Fotolack deutsch

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